Silisyòm estriktirèl wafer

Silisyòm estriktirèl wafer

Seri estriktirèl Silisyòm wafer sa a fèt pou bay yon fondasyon mekanik san konpwomi pou achitekti aparèy konplèks. Optimize atravè tout spectre endistriyèl la soti nan2-pous (50mm) a 12-pous (300mm), Substra sa yo fonksyone kòm yon gwo -lame fidelite, ki fèt pou diminye distòsyon fizik epi kenbe koyerans jeyometrik absoli nan anviwònman fabrikasyon ki pi egzijan yo.

Rezistans deformation siperyè:Wafer la achitekti pou reziste deformation elastik ak plastik pandan gwo vitès -robo manyen ak presizyon vakyòm chucking. Rigidité estriktirèl sa a asire ke dimansyon kritik yo rete entak, anpeche mikwo-deformation ki ka mennen nan dezayaj litografik oswa echèk lyezon.

Estabilite tèmomekanik:Ki fèt pou siviv pinisyonbidjè tèmik, materyèl la kenbe fòm li yo ak plat nan sik repete nan wo -oksidasyon tanperati ak rapid tèmik annealing (RTA). Lè yo minimize glise lasi ak estrès tèmik-pwovoke, substra a sipòte pwodiksyon ki estab pouPouvwa ICs (IGBT/MOSFET) ak MEMSaparèy.

Fidelite jeyometrik konsistan:Kontwòl sistematik nou an souVaryasyon epesè total (TTV)ak paramèt banza / chèn asire ke chak pakèt delivre konpòtman estriktirèl previzib. Konsistans sa a pèmèt pou yon fennèt pwosesis pi laj pandan Planarization Chimik-Mechanical Planarization (CMP) ak grave sèk, ki gen rapò dirèkteman ak yon pi solid.rannman-nivo wafer (WLY)pou elektwonik endistriyèl-.

Baj popilè: Silisyòm estriktirèl wafer, Lachin Silisyòm estriktirèl wafer manifaktirè, Swèd, faktori