Plizyè Etap Pwodiksyon Silisyòm Wafers

Pwodiksyon wafers Silisyòm anjeneral gen etap sa yo:
1) Kwasans kristal: Gen de kalite kwasans kristal: Czochralski (CZ) ak fonn zòn (FZ). Depi materyèl la polikristalin fonn yo pral an kontak dirèk ak kreze kwatz la, enpurte yo nan kreze kwatz la pral kontamine polikristalin nan fonn. Metòd Czochralski redrese kristal sèl la. Kontni kabòn nan kristal ak oksijèn se relativman wo, e gen anpil domaj enpurte, men pri a se ba epi li se apwopriye pou trase gwo-dyamèt (300mm) Silisyòm wafers. Li se kounye a prensipal semiconductor Silisyòm wafer materyèl la. Kristal sèl trase pa metòd la fonn zòn gen mwens domaj entèn ak kontni kabòn ki ba ak oksijèn paske matyè premyè polikristalin yo pa an kontak ak kreze kwatz la. Sepandan, yo chè ak pri-efikas, kidonk yo apwopriye pou aparèy ki gen gwo pouvwa ak kèk pwodwi-wo fen.
2) Tranch: trase yon sèl kristal baton Silisyòm bezwen koupe soti nan materyèl la tèt ak ke, ak Lè sa a, woule ak tè nan dyamèt ki nesesè yo. Apre koupe kwen plat oswa V-renur, li se Lè sa a, koupe nan gauf Silisyòm mens. Kounye a, se teknoloji koupe fil dyaman ki itilize anjeneral, ki trè efikas epi li gen pi bon deformation ak koub nan gauf Silisyòm. Yon ti kantite moso espesyal ki gen fòm yo pral koupe lè l sèvi avèk ti sèk enteryè.
3) Manje: Apre tranche, kouch ki domaje sou sifas la koupe bezwen yo dwe retire pa fanm k'ap pile asire bon jan kalite a nan sifas la wafer Silisyòm. Apeprè 50um yo retire.
4) Kowozyon: Kowozyon se plis retire kouch domaje ki te koze pa koupe ak fanm k'ap pile yo nan lòd yo prepare pou pwochen pwosesis la polisaj. Kowozyon anjeneral gen ladan korozyon alkali ak korozyon asid. Kounye a, akòz faktè pwoteksyon anviwònman an, pi fò nan yo sèvi ak korozyon alkali. Kantite lajan an retire korozyon pral rive nan 30-40um, ak brutality sifas la kapab tou rive nan nivo mikron.
5) Polisaj: Polisaj se yon pwosesis enpòtan nan pwodiksyon wafer Silisyòm. Polisaj itilize teknoloji CMP (Chemical Mechanical Polished) pou plis amelyore kalite sifas wafer Silisyòm pou satisfè kondisyon pou pwodiksyon chip. Brutalizasyon sifas la apre polisaj se anjeneral Ra<5A.
6) Netwayaj ak anbalaj: Kòm lajè liy lan nan sikwi entegre vin pi piti ak pi piti, kondisyon yo pou amelyore endikatè granularite yo tou ap vin pi wo ak pi wo. Netwayaj ak anbalaj se tou yon pwosesis enpòtan nan pwodiksyon wafer Silisyòm. Netwayaj Megasonic ka netwaye patikil yo tache ak Silisyòm lan. Pifò nan patikil ki pi wo a 0.3um sou sifas wafer Silisyòm lan yo se lè sa a vakyòm-sele epi pake nan yon bwat konfiti ki pa pwòp oswa chaje ak gaz inaktif, se konsa ke pwòpte a nan sifas la nan wafer Silisyòm lan. satisfè egzijans sikui entegre yo.